Lehrstuhl für
Multimediakommunikation und Signalverarbeitung
Prof. Dr.-Ing. André Kaup

Evaluierung der Frequenzselektiven Rekonstruktion für SEM Bilder

Betreuer:M.Sc. Simon Grosche (Raum 01.178)
Hochschullehrer:Prof. Dr.-Ing. André Kaup
Datei:Info-PDF
Info:

Bei einem Rasterelektronenmikroskop (SEM) werden stark vergrößerte Aufnahmen durch 'Abrastern' eines Objektes mit einem Elektronenstrahl erzeugt. Hierbei werden üblicherweise regelmäßig verteilte Punkte angefahren. Eine unregelmäßige Abtastung, welches Aliasing reduziert, wäre jedoch auch möglich, wobei die Daten anschließend auf ein regelmäßiges Gitter interpoliert werden müssen. Hierzu ist grundsätzlich die Frequenzselektive Rekonstruktion ein geeignetes Verfahren.

Eine mögliche unregelmäßige Abtastung ist das 1/4 Sampling. In der urspürnglichen Anwedung kann mit Hilfe des 1/4 Sampling ein hoch-aufgelöstes Bild trotz Verwendung eines niedrig-aufgelösten Sensors erzeugt werden. Dies erfolgt, indem die Pixel des Sensors in zufälliger Weise zu 3/4 überdeckt werden. Anschließend wird das hochaufgelöste Bild rekonstruiert.

Ziel dieser Arbeit ist es, die Verwendbarkeit von 1/4 Sampling zur Aufnahme von SEM-Bildern zu testen. Hierbei soll eine Parameteranalyse für SEM Bilder durchgeführt werden und diese mit den Parametern für natürliche Bilder verglichen werden. Weiterhin ist eine Verwendung von zufälligem Sampling ohne die 1/4 Sampling Bedingung denkbar und soll ggf. untersucht werden.

Typ:Bachelorarbeit, Forschungspraktikum
Status:Angeboten